Пространственное разрешение плоскопанельных детекторов может быть существенно хуже размера пикселя.
Причин может быть несколько:
Пространственное разрешение по вертикали и горизонтали детектора может не совпадать из-за формы светового сенсора и работы считывающей электроники.
Процесс измерения пространственного разрешения детектора подробно описан в стандарте ASTM E2597-07 Practice for Evaluation DDA. Для измерения пространственного разрешения требуется двупроволочный эталон и программное обеспечение с функцией вычисления пространственного разрешения по изображению двупроволочного эталона.
При измерении пространственного разрешения двупроволочный эталон кладется непосредственно на детектор под углом 5 градусов к вертикали или горизонтали.
Разрешение 175 микрон
Разрешение 200 микрон
Разрешение 250 микрон
Однако, если на образце содержит дефекты или летали по размеру меньше, чем
пространственное разрешение детектора, это не значит, что такие детали не будут видны.
Видимость объектов определяется совокупностью контрастной чувствительности детектора и его пространственного разрешения.
Контрастная чувствительность плоскопанельных детекторов улучшается с ростом времени экспозиции.
Для примера приведем изображение стенки толщиной
Напряжение 200 кВ, толщина стенки
Анализ профиля показывает, что пики от всех проволочек имеют разные амплитуды, но одинаковую полуширину на полувысоте.
То есть мы можем судить об относительной амплитуде дефектов, но не можем делать вывод об их размерах.